和其他产业不同,集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成,从单晶硅片制造,到IC制造的几乎所有环节,到IC封装都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。如,14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高,对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环,直接决定了终产品的成败。
电子/线路板生产净化车间结构材料:1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用用氧化铝型材制造。2.地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。4.高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。
洁净空调系统设计原则:投资合理原则:初投入符合经济节约的原则,又满足各生产岗位对温度、湿度、洁净度等洁净环境的要求;运行经济原则:考虑节约能源、运行可靠、维护简单,减少日后运行及维护费用。节约的运行费用符合长期的经济原则。技术先进原则:净化系统送风口采用定风量阀设计,配合环境监测系统,保证洁净区各参数恒定,节省能耗。耐用原则:壁板选用PU彩钢板;主机等主要材料选用有名的厂家品牌。